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发布日期:2021年12月06日
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SOI 光通信和MEMS应用 作为一种结构材料,可制作硅基集成光电器件,应用于高速宽带互联网和其它光网络的接口。此外,SOI圆片还广泛应用于制作微机电系统(MEMS)器件,如传感器等


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